20L高纯前驱体材料容器

  • 外形尺寸: Φ293mm×H550mm
  • 安全容积: 20L
  • 桶身材质: 316L
  • 管件阀门: 316L
  • 桶身厚度: 2.0t
  • 颗粒: ≤25ea/ml@0.3/um
  • 金属: ≤0.1ppb
  • 设计温度: 90℃
  • 试验压力: 0.25MPa
  • 设计压力: 0.9MPa
  • 技术指标: 产品纯度≥99.999%的化学品
  • 内壁处理: 内衬PTFE
  • 外壁处理: 镜面抛光
  • 承装化学品: TEOS,HCDS等

接口表


序号
品名接头尺寸
备注1备注2
N1液相口
1/4“Swagalok SS-400-1-4316L
N2氮气口
1/4“Swagalok SS-400-1-4
316L
N3安全阀1/4“FFKM316L
N4入料口2“/316L


尺寸图

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