18L高纯前驱体材料容器
产品型号:JSD-GT-L-PTFE-226-18-316-2
- 外形尺寸: Φ245mm×H695mm
- 安全容积: 18L
- 桶身材质: 316L/SUS304
- 管件阀门: 316L
- 桶身厚度: 2.0t
- 颗粒: ≤25ea/ml@0.3/um
- 金属: ≤0.1ppb
- 设计温度: 90℃
- 试验压力: 0.25MPa
- 设计压力: 0.9MPa
- 技术指标: 产品纯度≥99.999%的化学品
- 内壁处理: 电解抛光≤0.4μm
- 外壁处理: 镜面抛光
- 承装化学品: TEOS,HCDS等