18L高纯前驱体材料容器

产品型号:JSD-GT-L-PTFE-226-18-316-2

  • 外形尺寸: Φ245mm×H695mm
  • 安全容积: 18L
  • 桶身材质: 316L/SUS304
  • 管件阀门: 316L
  • 桶身厚度: 2.0t
  • 颗粒: ≤25ea/ml@0.3/um
  • 金属: ≤0.1ppb
  • 设计温度: 90℃
  • 试验压力: 0.25MPa
  • 设计压力: 0.9MPa
  • 技术指标: 产品纯度≥99.999%的化学品
  • 内壁处理: 电解抛光≤0.4μm
  • 外壁处理: 镜面抛光
  • 承装化学品: TEOS,HCDS等

接口表


序号
品名接头尺寸
备注1备注2
N1液相口
1/4“Swagelok SS-DSVCR4
316L
N2气相口
1/4Swagelok SS-DSVCR4316L
N3排气口1/4/316L
N4清洗口2/316L


尺寸图

c7939389413914903963c47ef0309458.jpg