6L高纯前驱体材料容器

产品型号：JSD-GT-J-XD-200-6-316-3

• 外形尺寸： Φ200mm×H505mm
• 安全容积： 6L
• 桶身材质： 316L/SUS304
• 桶身厚度： 3.0t
• 颗粒： ≤25ea/ml@0.3/um
• 金属： ≤0.1ppb
• 设计温度： 90℃
• 试验压力： 0.5MPa
• 设计压力： 0.9MPa
• 内壁处理： 酸洗钝化
• 外壁处理： 镜面抛光
• 承装化学品： TEOS，HCDS等