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前驱体钢桶-6L
高洁净承压前驱体容器
6L小型承压钢桶专为半导体金属前驱体存储输送打造,采用加厚 316L 不锈钢一体制成,内壁酸洗钝化杜绝金属杂质析出,外壁镜面抛光洁净易擦拭。适配超宽温域使用环境,承压安全冗余充足,顶部集成双路调压阀组,可精准控压实现密闭无接触供料。配套防护支架方便实验室转运,全程隔绝空气水汽,避免敏感前驱体氧化变质,是研发、小批量薄膜沉积工艺专用密闭储料容器。
前驱体钢桶-6L
高洁净承压前驱体容器
6L小型承压钢桶专为半导体金属前驱体存储输送打造,采用加厚 316L 不锈钢一体制成,内壁酸洗钝化杜绝金属杂质析出,外壁镜面抛光洁净易擦拭。适配超宽温域使用环境,承压安全冗余充足,顶部集成双路调压阀组,可精准控压实现密闭无接触供料。配套防护支架方便实验室转运,全程隔绝空气水汽,避免敏感前驱体氧化变质,是研发、小批量薄膜沉积工艺专用密闭储料容器。
※ 产品规格
| 产品编号 | JSD-GT-316L-6L-PC01 |
|---|---|
| 尺寸 | φ206±3mm*H505±3mm |
| 材质 | 316L |
| 桶身厚度 | 3.0t±0.2 |
| 设计/工作温度 | -70℃~90℃/常温 |
| 使用/试验压力 | 0.19MPa/≤1MPa |
| 桶内外壁处理 | 内壁:酸洗钝化处理 |
| 外壁:镜面处理 |
※ 产品示意图
※ 产品规格
| 产品编号 | JSD-GT-316L-6L-PC01 |
|---|---|
| 尺寸 | φ206±3mm*H505±3mm |
| 材质 | 316L |
| 桶身厚度 | 3.0t±0.2 |
| 设计/工作温度 | -70℃~90℃/常温 |
| 使用/试验压力 | 0.19MPa/≤1MPa |
| 桶内外壁处理 | 内壁:酸洗钝化处理 |
| 外壁:镜面处理 |