前驱体钢桶-6L

高洁净承压前驱体容器

前驱体钢桶-6L

6L小型承压钢桶专为半导体金属前驱体存储输送打造,采用加厚 316L 不锈钢一体制成,内壁酸洗钝化杜绝金属杂质析出,外壁镜面抛光洁净易擦拭。适配超宽温域使用环境,承压安全冗余充足,顶部集成双路调压阀组,可精准控压实现密闭无接触供料。配套防护支架方便实验室转运,全程隔绝空气水汽,避免敏感前驱体氧化变质,是研发、小批量薄膜沉积工艺专用密闭储料容器。

※ 产品规格

产品编号JSD-GT-316L-6L-PC01
尺寸φ206±3mm*H505±3mm
材质316L
桶身厚度3.0t±0.2
设计/工作温度-70℃~90℃/常温
使用/试验压力0.19MPa/≤1MPa
桶内外壁处理内壁:酸洗钝化处理
外壁:镜面处理

※ 产品示意图

图纸1
图纸2