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前驱体钢桶-20L
高洁净承压前驱体容器
20L承压储料桶采用316L不锈钢基材,内壁专属耐强酸碱涂层,适配各类腐蚀性半导体金属前驱体,外壁电解抛光易清洁防尘。可适应零下低温至高温宽温区间,承压余量充足,顶部双路压力表阀组实现密闭控压输送,隔绝水汽空气避免源材变质。配套加固防护提架便于无尘车间转运,桶内不易残留介质,适配 ALD、CVD 量产工艺中等容量前驱体存储、稳定供料。
前驱体钢桶-20L
高洁净承压前驱体容器
20L承压储料桶采用316L不锈钢基材,内壁专属耐强酸碱涂层,适配各类腐蚀性半导体金属前驱体,外壁电解抛光易清洁防尘。可适应零下低温至高温宽温区间,承压余量充足,顶部双路压力表阀组实现密闭控压输送,隔绝水汽空气避免源材变质。配套加固防护提架便于无尘车间转运,桶内不易残留介质,适配 ALD、CVD 量产工艺中等容量前驱体存储、稳定供料。
※ 产品规格
| 产品编号 | JSD-GT-316L-20L-PC01 |
|---|---|
| 尺寸 | φ293±2mm*H550±2mm |
| 材质 | 316L |
| 桶身厚度 | 2.0t±0.2 |
| 设计/工作温度 | -70℃~90℃/常温 |
| 使用/试验压力 | 0.7MPa/0.9MPa |
| 桶内外壁处理 | 内壁:内镀耐强酸碱性涂层 |
| 外壁:电解抛光 |
※ 产品示意图
※ 产品规格
| 产品编号 | JSD-GT-316L-20L-PC01 |
|---|---|
| 尺寸 | φ293±2mm*H550±2mm |
| 材质 | 316L |
| 桶身厚度 | 2.0t±0.2 |
| 设计/工作温度 | -70℃~90℃/常温 |
| 使用/试验压力 | 0.7MPa/0.9MPa |
| 桶内外壁处理 | 内壁:内镀耐强酸碱性涂层 |
| 外壁:电解抛光 |