前驱体钢桶-20L

高洁净承压前驱体容器

前驱体钢桶-20L

20L承压储料桶采用316L不锈钢基材,内壁专属耐强酸碱涂层,适配各类腐蚀性半导体金属前驱体,外壁电解抛光易清洁防尘。可适应零下低温至高温宽温区间,承压余量充足,顶部双路压力表阀组实现密闭控压输送,隔绝水汽空气避免源材变质。配套加固防护提架便于无尘车间转运,桶内不易残留介质,适配 ALD、CVD 量产工艺中等容量前驱体存储、稳定供料。

※ 产品规格

产品编号JSD-GT-316L-20L-PC01
尺寸φ293±2mm*H550±2mm
材质316L
桶身厚度2.0t±0.2
设计/工作温度-70℃~90℃/常温
使用/试验压力0.7MPa/0.9MPa
桶内外壁处理内壁:内镀耐强酸碱性涂层
外壁:电解抛光

※ 产品示意图

图纸1
图纸2