200L储料桶专为晶圆大规模量产设计的大容量前驱体储罐，采用加厚 316L 不锈钢一体锻压成型，内壁双重镜面电解抛光，大幅降低介质吸附滞留，保障源材纯度稳定。适配高低温宽幅工况，承压安全标准严苛，配套固定式承重底座，可配合叉车完成厂区转运作业。宽大桶口便于无尘状态下装填物料、更换内衬，全程密闭存储隔绝水汽氧气，避免敏感金属前驱体变质，满足多条薄膜沉积产线集中稳压供料需求。