前驱体钢桶-18L

高洁净承压前驱体容器

前驱体钢桶-18L

18L储料桶采用加厚 316L 不锈钢打造,桶身内外电解抛光至超低粗糙度,内壁光滑无吸附,可避免半导体前驱体残留、金属杂质析出。支持宽温域工况,承压安全系数高,顶部集成双压力表调压管路,可实现全程密闭隔绝空气水汽,防止敏感前驱体氧化失效。外置防护提架方便车间转运,适配 CVD、ALD 薄膜沉积工艺,满足中试产线中等容量高纯金属源稳定存储与自动化输送需求。

※ 产品规格

产品编号JSD-GT-316L-18L-PC01
尺寸φ245±2mm*H695±2mm
材质316L
桶身厚度2.0t±0.2
设计/工作温度-70℃~90℃/常温
使用/试验压力0.7MPa/0.9MPa
桶内外壁处理内壁:电解抛光≤0.4um
外壁:电解抛光

※ 产品示意图

图纸1
图纸2