1 / 4
前驱体钢桶-18L
高洁净承压前驱体容器
18L储料桶采用加厚 316L 不锈钢打造,桶身内外电解抛光至超低粗糙度,内壁光滑无吸附,可避免半导体前驱体残留、金属杂质析出。支持宽温域工况,承压安全系数高,顶部集成双压力表调压管路,可实现全程密闭隔绝空气水汽,防止敏感前驱体氧化失效。外置防护提架方便车间转运,适配 CVD、ALD 薄膜沉积工艺,满足中试产线中等容量高纯金属源稳定存储与自动化输送需求。
前驱体钢桶-18L
高洁净承压前驱体容器
18L储料桶采用加厚 316L 不锈钢打造,桶身内外电解抛光至超低粗糙度,内壁光滑无吸附,可避免半导体前驱体残留、金属杂质析出。支持宽温域工况,承压安全系数高,顶部集成双压力表调压管路,可实现全程密闭隔绝空气水汽,防止敏感前驱体氧化失效。外置防护提架方便车间转运,适配 CVD、ALD 薄膜沉积工艺,满足中试产线中等容量高纯金属源稳定存储与自动化输送需求。
※ 产品规格
| 产品编号 | JSD-GT-316L-18L-PC01 |
|---|---|
| 尺寸 | φ245±2mm*H695±2mm |
| 材质 | 316L |
| 桶身厚度 | 2.0t±0.2 |
| 设计/工作温度 | -70℃~90℃/常温 |
| 使用/试验压力 | 0.7MPa/0.9MPa |
| 桶内外壁处理 | 内壁:电解抛光≤0.4um |
| 外壁:电解抛光 |
※ 产品示意图
※ 产品规格
| 产品编号 | JSD-GT-316L-18L-PC01 |
|---|---|
| 尺寸 | φ245±2mm*H695±2mm |
| 材质 | 316L |
| 桶身厚度 | 2.0t±0.2 |
| 设计/工作温度 | -70℃~90℃/常温 |
| 使用/试验压力 | 0.7MPa/0.9MPa |
| 桶内外壁处理 | 内壁:电解抛光≤0.4um |
| 外壁:电解抛光 |