整机采用 316L 不锈钢打造，拥有优异耐腐蚀特性，适配各类高纯电子化学品处理。集成罐体、多级过滤模组与输送单元，一体化框架搭配脚轮，灵活适配产线不同工位。流体管路布局精简，减少介质滞留与二次污染，可完成药液循环、精密过滤等工序。设备便于拆解清洗，满足半导体制造严苛洁净要求，适用于光刻试剂、高纯湿电子化学品提纯工序。